1.      极限真空度：8.0x10^-4Pa；

2.      工作真空度：6.67x10^-3Pa；

3.      抽速：从大气抽至6.67x10^-3Pa，＜8分钟；

4.      压升率：0.38Pa/小时；

5.      自转轴中心距：136mm；

6.      工位：16个（工件架最大自转半径为100mm）；

7.      电气控制系统：PLC全自动控制，可动行多种工艺设置。

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